1. Мадвейко, С. И. Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" УДК 621.7/.9.047. — ББК 32Издательство: Минск, 2013Физическая характеристика: 25 с.

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: