1. Наливайко, О. Ю. Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники УДК 621.382.049.77-027.3:621.793/.794(043.3). — ББК 32.85Издательство: Минск, 2022Физическая характеристика: 25 с. : ил.

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: