000 03441cam0 2200505 ia4500
001 BY-NLB-br0001743111
005 20220309144744.0
100 ^a20220112d2022 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^dbel
^drus
^deng
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aaa
^aac
200 1 ^aГазовые сенсоры с низким энергопотреблением на наноструктурированных подложках из оксида алюминия
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
^eспециальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
^fДенисюк Сергей Валентинович
^gГосударственное научное учреждение "Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси", Государственное научно-производственное объединение "Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника"
210 ^aМинск
^d2022
215 ^a23 с.
^cил.
300 ^aРезюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
320 ^aБиблиография: с. 17—20 (28 назв.)
606 0 ^3BY-NLB-ar29804
^aСЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar13163639
^aНАНОПОКРЫТИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar39542
^aЭНЕРГОСБЕРЕЖЕНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar39544
^aЭНЕРГОСБЕРЕГАЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2496476
^aГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar63017
^aГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar1903715
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar8207405
^aМУЛЬТИСЕНСОРНЫЕ СИСТЕМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2448302
^aОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar78052
^aОКСИД АЛЮМИНИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar4914454
^aТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24113
^aПОДЛОЖКИ
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
675 ^a681.586.72'33.072:658.18(043.3)
^v4
^zrus
675 ^a543.27.084.2(043.3)
^v4
^zrus
686 ^a24.4
^2rubbk
686 ^a05.27.01
^2nsnrrb
690 ^a1
^2Base
^9BY-BR0000
^xRSEK
700 1 ^3BY-SEK-ar14149410
^aДенисюк
^bС. В.
^gСергей Валентинович
^cфизик
712 0 2 ^3BY-SEK-203558
^aИнститут физики
^cМинск
^4595
712 0 0 ^3BY-SEK--ar13179862
^a"Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника"
^gгосударственное научно-производственное объединение
^cМинск
^4595
^4995
801 0 ^aBY
^bBY-HM0000
^c20220112
^gRCR
801 2 ^aBY
^bBY-BR0000
^c20220113
^gRCR
035 ^a(BY-BR0000)BY-NLB-br0001743111
899 0 ^aBY-BR0000
^iД33