000 03258cam0 2200589 ib4500
001 BY-BR0000-br20229305936
005 20230206151822.0
010 ^a978-985-08-2875-0
^bв переплете
035 ^a(BY-BR0000)BY-BR0000-br20229305936
100 ^a20221025d2022 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
105 ^aa z 010yy
109 ^aaa
200 1 ^aВысокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
^e[монография]
^fВ. А. Зеленин
^gНациональная академия наук Беларуси, Физико-технический институт
210 ^aМинск
^cБеларуская навука
^d2022
215 ^a289, [1] с.
^cил., цв. ил., табл.
^d25 см
300 ^aНа переплете: Белорусская академическая наука ― 100. 1922―2022
320 ^aБиблиография: с. 276―286 (183 назв.)
345 ^9100 экз.
606 0 ^3BY-NLB-ar18370
^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar36797
^aХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar1800903
^aСТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2764600
^aСВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar39284
^aЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar35865
^aФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33920
^aТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar7358508
^aЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2644768
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33914
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar45117
^aНАНОЭЛЕКТРОНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar17342
^aЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar20898
^aНОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar34169
^aТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3170564
^aМНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar18584
^aМНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ СИСТЕМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar27843
^aРЕЗИСТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar34092
^aТОКОПРОВОДЯЩИЕ СИСТЕМЫ
^2DVNLB
606 ^aЮБИЛЕЙНЫЕ ДАТЫ
^3BY-NLB-ar39858
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
675 ^a621.382.049.77-027.3
^v4
^zrus
675 ^a621.38-022.532-027.3
^v4
^zrus
675 ^a621.38-03
^v4
^zrus
686 ^a32.844.2
^2rubbk
690 ^a6
^2Base
^9BY-BR0000
^xRSEK
700 1 ^3BY-SEK-184294
^aЗеленин
^bВ. А.
^gВиктор Алексеевич
^cдоктор технических наук
^fрод. 1941
712 0 2 ^3BY-NLB-ar198721
^aФизико-технический институт
^cМинск
^4475
801 0 ^aBY
^bBY-BR0000
^c20221025
^gRCR
899 0 ^aBY-BR0000
^iЗ-48