000 01791cam0 2200385 ib4500
001 BY-BR0000-br2857157
005 20220919145033.0
035 ^a(BY-BR0000)BY-BR0000-br2857157
100 ^a20220324d1986 w y0rusy50 ca
101 1 ^arus
^ceng
102 ^aRU
105 ^aa z 001yy
109 ^aca
200 1 ^aСилициды для СБИС
^fШ. Мьюрарка
^gперевод с английского В. В. Баранова
^gпод редакцией Ю. Д. Чистякова
210 ^aМосква
^cМир
^d1986
215 ^a176 с.
^cил.
300 ^aДополнительный титульный лист на английском языке
320 ^aБиблиография: с. 160—169
320 ^aПредметный указатель: с. 170—174
345 ^94000 экз.
532 1 2 ^aСилициды для сверхбольших интегральных схем
606 ^aСВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
^3BY-NLB-ar2121092
^2DVNLB
606 ^aСИЛИЦИДЫ
^3BY-NLB-ar30000
^2DVNLB
606 ^aТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
^3BY-NLB-ar33584
^2DVNLB
606 ^aОКИСЛЕНИЕ
^3BY-NLB-ar21561
^2DVNLB
686 ^a31
^2rubbk
690 ^a6
^2Base
^9BY-BR0000
^xRSEK
700 1 ^aМьюрарка
^bШ. П.
^gШиям П.
702 1 ^aБаранов
^bВ. В.
^gВалентин Владимирович
^cдоктор технических наук
^fрод. 1949
^3BY-SEK-269990
^4730
702 1 ^aЧистяков
^bЮ. Д.
^gЮрий Дмитриевич
^3BY-RLST-ar451557
^4340
801 0 ^aBY
^bBY-BR0000
^c20220324
^gRCR
899 0 ^aBY-BR0000
^iМ96