Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Аваков Сергей Мирзоевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Аваков, Сергей Мирзоевич, доктор технических наук, электроника, род. 1955Ответственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2007Физическая характеристика: 42 с. : ил., табл.ББК: 40 ; 05.27.06Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 33—39 (60 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | ТОПОЛОГИЯ | СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ФОТОШАБЛОНЫ | ФОТОЛИТОГРАФИЯ | АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 33—39 (60 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: