Закономерности формирования, влагосорбционные и оптические свойства оксидных пленок, полученных из тетраэтоксисилана : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника / Бачило Елена Эдвардовна ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Нет никаких комментариев для этого документа.