Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Грунский Дмитрий Игоревич ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Автор(ы): Грунский, Дмитрий ИгоревичОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2001Физическая характеристика: 21 с. : ил., табл.ББК: 31.23 ; 05.27.06Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 17—18 (16 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ФОТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ | ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ | ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 17—18 (16 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: