Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Завадский Сергей Михайлович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Завадский, Сергей Михайлович, кандидат технических наукОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2002Физическая характеристика: 22 с.ББК: 32.84 ; 05.27.06Note(s): Библиография: с. 15—19 (15 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА | ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | ПОДЛОЖКИ (электроника) | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ | ТОНКИЕ ПЛЕНКИ | НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Библиография: с. 15—19 (15 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: