Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Голосов Дмитрий Анатольевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Голосов, Дмитрий Анатольевич, кандидат технических наук, род. 1971Ответственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2002Физическая характеристика: 24 с.ББК: 05.27.06Note(s): Резюме параллельно на русском, белорусском и английском языках; Библиография: с. 19—21 (19 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ПОДЛОЖКИ | ТОНКИЕ ПЛЕНКИ | НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ | ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ | ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | РАСПЫЛЕНИЕ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме параллельно на русском, белорусском и английском языках

Библиография: с. 19—21 (19 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: