Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / [В. А. Емельянов и др.] ; Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения

Автор(ы): Емельянов, Виктор Андреевич, доктор технических наук, род. 1948;
                   Рогачев, Александр Владимирович, ученый в области физико-химии, род. 1949;
                   Федосенко, Николай Николаевич, кандидат технических наук;
                   Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич, кандидат технических наукОтветственные организации: Объединенный институт машиностроения, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск : Беларуская навука, 2014Физическая характеристика: 410, [1] с. : ил., схемы, табл. ; 21 смISBN:978-985-08-1764-8.ББК: 32.844.2Note(s): Авторы указаны на оброте титульного листа; Библиография: с. 382-407 (385 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА | КОМПОЗИЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ | НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ | ОСАЖДЕНИЕ | НАНОКОМПОЗИТЫ | КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ | ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Книги, брошюры Книги, брошюры
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Авторы указаны на оброте титульного листа

Библиография: с. 382-407 (385 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: