Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; под ред. В. Е. Борисенко ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт

Автор(ы): Румак, Николай Владимирович, доктор технических наук, 1941—1995;
                   Хатько, Вячеслав Владимирович, доктор физико-математических наук;
                   Борисенко, Виктор Евгеньевич, ученый-физик, род. 1951Ответственные организации: Академия наук Белорусской ССР;
                   Физико-технический институт, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск : Навука і тэхніка, 1990Физическая характеристика: 190, [1] с. : ил., табл. ; 20 смISBN:5-343-00540-3.ББК: 32.844.1Note(s): Библиография: с. 181—189 (225 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ | ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ | ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА | МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | МДП-ТЕХНОЛОГИЯ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | КРЕМНИЯ ДИОКСИД | КРЕМНИЯ НИТРИД | ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ | СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ | ПАССИВИРОВАНИЕ | МДП-ТЭХНАЛОГІЯ | МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНАЛОГІЯ | ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА | ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ПЛЁНКІ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Книги, брошюры Книги, брошюры
Брестская областная библиотека. Общий читальный зал
Выдается
Книги, брошюры Книги, брошюры
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Библиография: с. 181—189 (225 назв.)

1450 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: