Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е. К. Чехович ; [ред. В. А. Пилипович]

Автор(ы): Чехович, Евгений Казимирович;
                   Пилипович, Владимир Антонович, ученый-физик, 1931— Ответственные организации: Институт электроники, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск : Наука и техника, 1989Физическая характеристика: 212, [1] c. : схемы, графикиISBN:5-343-00087-8.ББК: 32.84Note(s): Библиография: с. 200-211 (267 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА | МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ | ТОПОЛОГИЯ | МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.) | АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ | КОНТРОЛЯ СИСТЕМЫ | ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Книги, брошюры Книги, брошюры
Брестская областная библиотека. Отдел домашнего абонемента
Выдается
Книги, брошюры Книги, брошюры
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Библиография: с. 200-211 (267 назв.)

1700 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: