Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

035 ## - Идентификатор записи другой системы
Контрольный номер системы (BY-BR0000)BY-NLB-br0001644679
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20200909d2020 k y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
Язык аннотации или реферата bel
-- rus
-- eng
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
105 ## - Поле кодированных данных: текстовые документы – монографические
Кодированные данные о текстовом документе, описываемом на монографическом или аналитическом уровне a m 000yy
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
-- aa
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
-- специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Первые сведения об ответственности Вилья Пинеда Номар Альберто
Последующие сведения об ответственности Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Минск
Дата издания, распространения и т.д. 2020
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 21 с.
Другие уточнения физических характеристик ил., табл.
300 ## - Общие примечания
Текст примечания Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя
Текст примечания Библиография: с. 17—18 (10 назв.)
606 0# - Наименование темы, используемое как предмет
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar11906
Начальный элемент ввода ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34171
Начальный элемент ввода ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar2644768
Начальный элемент ввода ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar55300
Начальный элемент ввода МДП-СТРУКТУРЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar33870
Начальный элемент ввода ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34161
Начальный элемент ввода ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar1756760
Начальный элемент ввода ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar9573
Начальный элемент ввода ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar19558
Начальный элемент ввода НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar4777100
Начальный элемент ввода МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar23654
Начальный элемент ввода ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК)
Индекс 621.382.049.77-027.3:621.793.74(043.3)
Издание 4
Язык издания rus
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 32.85
Код классификации rubbk
Индекс 05.27.06
Код классификации nsnrrb
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 1
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-BR0000
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar13823980
Начальный элемент ввода Вилья Пинеда
Часть имени, кроме начального элемента ввода Н. А.
Полная форма имени и отчества лица Номар Альберто
Дополнение к именам, кроме дат микроэлектроника
712 02 - Наименование организации - вторичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar186905
Начальный элемент ввода Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию Минск
Код отношения 595
-- 995
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20200909
Правила каталогизации RCR
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20201203
Правила каталогизации RCR
899 #0 - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ В46
999 ## - Лица – составители записи
Дата выполнения работы 20201203
Языки: