Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Вилья Пинеда, Номар Альберто, микроэлектроникаОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2020Физическая характеристика: 21 с. : ил., табл.ББК: 32.85 ; 05.27.06Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 17—18 (10 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ | МДП-СТРУКТУРЫ | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | ТОНКИЕ ПЛЕНКИ | ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ | ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ | НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ | МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ | ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Брестская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 17—18 (10 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: